集成电路制造技术简史

集成电路的历史从1958年TI的一颗Flip-Flop电路开始,那时候只有两个晶体管组成一个反相器而已。发展至今已有十亿个晶体管的CPU了,而这些都不得不来自于半导体制造业的技术推进得以持续scalable。  半导体能够变成现实主要是它能够实现“0”和“1”的二进制转换,而在硬件上就是从真空二极管(VacuumTube)开始的。大概在第二次世界大战的时候,电子计算机开始投入适用主要用于通信密码破译,但是这些晶体管的性能会很快退化增加Troubleshooting的时间,间接阻碍了半导体行业的发展。  直到1947年,贝尔实验室的三位前辈其中一位是WilliamShockley他们发明了点接触的Ge晶体管,然后1950年,Shockley又发明了BJT。这些和真空二极管比起来,可靠性和功耗以及尺寸都得到了很搭提高。尤其是BJT是三端晶体管可以当作电控开关(electricalswitch),其中一个端子就可以作为控制端。1958年,TI的JackKilby在Silicon上做出了两个BJT,开启了“SiliconAge”。早期的电路都是用BJT做的,从BJT的原理可以直到,BJT是靠电流驱动的(Base加电流),而Ice又是双载流子器件,所以它除了驱动电流大之外,还有个问题就是静态漏电也大,所以如果你的电路非常庞大你的漏电功耗损失将无法接收,所以限制了它的适用。  到1963年,仙童公司(Fairchild)公司发明了NMOS和PMOS对称互补器件组成的CMOS电路,这就是现在我们耳熟能详的CMOS技术。由于它的控制极Gate是靠栅极跨过GateDielectric电场耦合实现的,所以没有控制电流产生的静态功耗,所以理论静态功耗可以到“0”(当然实际上还是有Gateleakage)。实际上早期IC都是只用NMOS+BJT实现电路的,而没有用PMOS,因为那个时候没有TwinWell技术。直到1980年代CPU的晶体管已经到了几千个了,而这时候的功耗已经无法接收了,才不得不走入CMOS(TwinWell)时代。



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